Résolution spatiale de la microanalyse, influence de la tension d’accélération, du rayonnement X et de l’absorption.

Jacky Ruste
Jacky.ruste@free.fr
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Par rapport à l'imagerie en émission électronique secondaire, la résolution spatiale en analyse X est considérablement détériorée en raison de la diffusion électronique. Les conséquences pour la qualité des analyses sont très importantes. Après avoir explicité les différents paramètres qui interviennent dans cette résolution, on envisagera les différents moyens de l'améliorer et on s'interrogera sur la réalité de la " nanoanalyse " en microanalyse X