Nouveaux développements en microscopie électronique à balayage haute résolution à très basses énergies

Thierry Grenut
t.grenut@elexience.fr     http://www.elexience.fr

 

Les MEB à émission de champ ne cessent de progresser du point de vue des performances à basses énergies.

Le nouveau MEB à émission de champ UHR Hitachi SU8000 permet de révéler des informations d'extrême surface (au sens de la microscopie électronique) jusqu'ici difficilement accessibles. L'utilisation combinée d' électrons incidents très peu énergétiques (jusqu'à 100 eV) et de détecteurs originaux dont le nouveau " Top Detector " donnent accès confortablement au contraste topographique et au contraste de conductivité électrique de l'échantillon sur des épaisseurs de 1nm à quelques nanomètres. Des images comparatives avec celles obtenues en microscopie à force atomique illustrent ces possibilités.