Microscopie électronique à balayage en transmission : contraintes et solutions pour l'imagerie en très haute résolution

Thierry Grenut
t.grenut@elexience.fr     http://www.elexience.fr

Les MEB à émission de champ de génération actuelle présentent des performances intéressantes pour l'imagerie en mode "électrons transmis", compte-tenu des caractéristiques du faisceau d'électrons (taille de sonde et brillance en particulier) et de l'utilisation de tensions d'accélération inférieures ou égales à 30kV. Les images produites rivalisent parfois avec celles obtenues sur des MET basse tension classiques.

Cependant la conception d'un MEB traditionnel induit des perturbations contraignantes au niveau de l'échantillon qui peuvent en pratique s'avérer très préjudiciables à l'obtention d'images de bonne qualité à forts grandissements. Le STEM basse tension Hitachi S5500 intègre des solutions originales minimisant l'influence des perturbations au niveau de l'échantillon. Des images nettes et stables sont facilement obtenues à des grandissements allant bien au-delà de x1.000.000 (référence Polaroïd).