Technologie et dernières avancées liées aux systèmes à faisceau d'ions focalisés FEI

Dr Laurent Roussel - FEI Eindhoven
laurent.roussel@fei.com

Ces deux dernières années ont été marquées chez FEI par des activités de développement particulièrement innovantes autour des colonnes à faisceau d'ions focalisé (FIB).

Cet exposé se concentrera plus particulièrement sur la technologie et les spécificités de deux d'entre elles : le FIB-Gallium de dernière génération TomahawkTM, introduit en 2010 pour un contrôle toujours plus précis du faisceau à haute et basse énergie, et le futur FIB-plasma VulcanTM, qui ouvre de nouveaux horizons de par sa capacité à travailler à très fort courant et avec des ions non-Gallium.

Nous discuterons également des méthodes d'évaluation de la performance des FIB, ainsi que des derniers progrès en matière de détection dédiée à l'imagerie FIB en électrons ou ions secondaires. A l'aide du DualBeam Helios NanoLab x50 et de la plateforme FIB Vulcan, nous illustrerons l'intérêt des différentes technologies du point de vue applicatif.