TESCAN - Innovations des éléments de colonnes SEM - FIB

David Barresi
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Des améliorations technologiques notables sont apparues avec la 3ème génération de colonnes produites et intégrées par la société TESCAN.
De nouveaux matériaux utilisés pour la lentille objective optimiseront la reproductibilité de focalisation. L'association d'une électronique et d'une informatique de plus en plus performante permettra d'apprécier et de corriger le comportement des lentilles électromagnétiques.
TESCAN innove avec l'apparition du module 'In-Flight-Beam-Tracing' permettant d'optimiser le comportement des lentilles électromagnétiques et offre à l'utilisateur de pouvoir modifier de façon continue le courant de sonde ou bien la taille de sonde. Ces innovations vous seront explicitées lors de l'exposé.

Enfin, la nouvelle colonne FIB Cobra aujourd'hui intégrée sur le DualBeam TESCAN permet d'obtenir une résolution de 2.5 nm en imagerie FIB et des performances accrues en vitesse de gravure. Une comparaison sur les aspects techniques de ces différentes générations de colonnes ioniques vous sera présentée.