Mécanismes et stratégies de dépôt assistés par FIB

Guillaume AUDOIT
CEA-Leti / DTSI / SCMC
MINATEC Campus, 38054 GRENOBLE

Réaliser un dépôt par FIB est une étape courante intervenant dans de multiples applications comme la protection de surface lors de la réalisation d'une coupe ou d'une préparation TEM.

Les équipements FIB, de par leur capacité à graver et à réaliser des dépôts sont de plus en plus utilisés à des fins de "nano-prototyping" pour la réalisation de structures plus ou moins complexes.

Cette présentation exposera les mécanismes mis en jeu lors de dépôts assistés par FIB et détaillera l'influence des paramètres du faisceau et du scan (dwell time, beam overlap, balayage…) sur le dépôt obtenu.
Des problématiques concrètes de dépôt seront présentées.
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