Pourquoi vouloir absolument travailler à basse tension ? Intérêts et limitations

Jacky RUSTE
GN-MEBA

Le développement dans les années 90 des nouveaux microscopes à balayage haute résolution et plus récemment de microanalyseurs à sonde électronique utilisant des canons de type Schottky permettent de travailler à de très basses tensions.
Un des intérêts de pouvoir utiliser des basses tensions est de diminuer la résolution spatiale en observation et en analyse.

Mais qu’est-ce réellement que la résolution spatiale ? ou plutôt « les résolutions spatiales » ?

La basse tension a aussi des conséquences au niveaux des émissions électroniques et X, un rapide tour d’horizon servira d’introduction aux exposés suivants.

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