Les solutions technologiques en microscopie électronique à balayage pour l'imagerie à basse tension.

1ère Partie : Les canons et les colonnes. (Francine Roussel)
2ème Partie : Les détecteurs. (Frédéric Charlot)

CMTC, Grenoble INP, Saint Martin d'Hères 38 

A travers une description des différentes familles de canons à électrons et un rappel de fonctionnement des colonnes de MEB, nous discuterons tout d'abord de l'évolution à basse tension de paramètres clés liés à la résolution, tels que la brillance, les aberrations et la taille de sonde. Nous dresserons alors un bilan des progrès réalisés et des performances actuelles en imagerie à basse tension pour les MEB-W (entre 5kV et 1kV) et à très basse tension pour les MEB-FEG (inférieure à 1kV). Nous présenterons ensuite les développements technologiques mis en œuvre par les constructeurs pour disposer d'une faible taille de sonde, d'un courant optimum tout en limitant les aberrations.
Réaliser une image à basse tension nécessite des systèmes de détection adaptés permettant de collecter avec un bon rapport signal sur bruit les électrons réémis. La discrimination des signaux (électrons secondaires, électrons rétrodiffusés) devient un enjeu à basse tension afin d'obtenir une information pertinente. Nous présenterons les différents systèmes de détection et leurs spécificités pour les différents MEB.

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