Applications micro-électroniques de faisceau d'électrons à basse énergie et criticité de la contamination.

Anne-Sophie ROBBES, Anna MEURA, Olivier DULAC, Michel OUTREQUIN, Robin LAINE, Mona MORET
CAMECA, Gennevilliers 92

La sonde électronique pour les micronanalyses dans le domaine du semiconducteur, appliquée à des domaines de métrologie pour le contrôle de la production de puces électroniques, imposent un certain nombre de contraintes sur les mesures et l'instrumentation. Certaines applications analysées par la microsonde Cameca dédiée à la basse énergie seront présentées ainsi que les demandes propres à la métrologie.

Une des contraintes la plus forte est la mesure répétitive au même emplacement car les signaux émis peuvent être impactés dans le temps. Une brève liste des phénomènes physiques liés à l’interaction électron-matière pouvant modifier l’intensité des signaux X a été répertoriée et évaluée. Des analyses par sonde atomique, SIMS, AFM pour identifier la nature / effet le plus impactant seront présentées.
La contamination carbone a été retenue et des hypothèses formulées sur l'impact du signal, principalement pour le Bore mais aussi pour des éléments plus lourd comme le Ge.