EDS : fiabilité de l’analyse sans témoin

Denis Boivin, ONERA Châtillon

La microanalyse quantitative par spectrométrie EDS sans témoins est largement utilisée en tant que technique d'analyse chimique associée au microscope électronique à balayage. L'utilisation de logiciels aux interfaces de plus en plus conviviales a rendu sa mise en œuvre aisée et rapide et par suite très attrayante. Toutefois, il reste indispensable de se rappeler que sa fiabilité, autrement dit la confiance dans ses résultats quantitatifs, n'est pas celle que peut atteindre l'analyse avec témoins pratiquée à la microsonde électronique, technique certes plus contraignante dans sa mise en œuvre et en particulier plus couteuse en temps mais plus fiable.

Au cours de cet exposé sont abordés les divers aspects dans cette procédure d'analyse EDS sans témoins (paramètres d'acquisition du spectre, méthodes de traitement du spectre disponibles) qui sont sources d'incertitude du résultat quantitatif et de dispersion des résultats.

Un exemple particulier d'analyse d'un même échantillon dans diverses conditions de traitement disponibles illustre le degré de fiabilité de cette méthode d'analyse.