Microanalyse X sous pression contrôlée

Christian Mathieu, Univ. D'Artois,
Lahcen Khouchaf, Ecole des Mines de Douai,
Monique Repoux, ENSMP Sophia-Antipolis

La microscopie sous pression contrôlée permet d'observer sans préparation des échantillons non conducteurs, humides ou présentant un fort taux de dégazage, mais qu'en est-il de la microanalyse dans ces conditions?
La présence d'une pression non négligeable dans la chambre du microscope n'est pas sans conséquence sur le faisceau incident (collisions élastiques et inélastiques des électrons sur les atomes du gaz) ni sur la qualité de détection des rayons X émis par l'échantillon.

Nous décrirons au cours de cet exposé les artefacts inhérents à ce mode d'observation ainsi que les moyens existants pour les minimiser ou pour en corriger en partie les effets.