Microsonde Cameca : la colonne électronique

Michel OUTREQUIN (Cameca)

Description et caractéristiques d'une colonne électronique dédiée à la microanalyse.
Les principales parties de la colonne seront décrites:
- Source des électrons: Cathodes tungstène, LaB6 et FEG
- Régulation faisceau: principe
- Diamètre de faisceau en fonction du courant faisceau
- Microscope optique coaxial.