Technologies pour la microscopie électronique à balayage de résolution sub-nanométrique à haute et basse tension

Dr Laurent Roussel - FEI Eindhoven
laurent.roussel@fei.com

Il y a plus de cinq ans, FEI se lançait dans un projet ambitieux de nouvelle colonne électronique de très haute résolution, baptisée ElstarTM, avec pour but d'obtenir des performances à basse énergie équivalentes à celles connues à 15-30 keV.

Cet exposé présentera l'état actuel de ce projet : l'optique électronique et les choix technologiques de la colonne Elstar, et en particulier de son canon électronique novateur, intégrant le monochromateur UCTM.

Nous nous intéresserons également à la dernière génération de détecteurs introduite par FEI en 2010 pour la collection et discrimination optimale d'électrons secondaires et rétrodiffusés. Couplés à la colonne Elstar, ils permettent aujourd'hui aux instruments Magellan (MEB) et Helios NanoLab x50 (DualBeam) d'atteindre des niveaux de résolution, de qualité d'image et de contrastes inégalés.