Orion Helium-ion-microscope (HIM) : Perspectives en Microscopie à Balayage

Jean-Claude MENARD (Carl Zeiss)

Que sera la microscopie électronique balayage de demain ? L'électron sera t'il encore le seul vecteur primaire des informations collectées dans les matériaux ?
   
Plusieurs perspectives s'ouvrent comme le large champ de la microscopie corrélative visant à unifier les mondes de la microscopie optique, de la microscopie électronique à balayage et de la microscopie électronique en transmission ; mais aussi dans un tout autre registre, l'imagerie ionique à source He à très haute résolution et à faible volume d'interaction pouvant s'imposer comme la future génération d'instruments.