Voir l'inaccessible de manière naturelle : Colonne FEG et détecteurs - TESCAN Mira3, InBeam, LVSTD

David Barresi
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La colonne FEG des microscopes TESCAN est constituée d'un système optique original composé de 3 lentilles qui confère une large souplesse d'utilisation. Cette nouveauté, due à l'ajout d'une lentille intermédiaire électromagnétique, permet à l'utilisateur d'avoir un degré de liberté supplémentaire sur le faisceau et de s'affranchir des diaphragmes mobiles. La colonne FEG permet alors de nouveaux modes d'utilisation faciles: grande profondeur de champ, faible grossissement, imagerie en 3D live et mode Roking Beam. Les principes physiques des ces différents modes vous seront présentés.
    
TESCAN propose une large gamme de nouveaux détecteurs pouvant être intégrés sur cette colonne électronique dans le but de répondre aux besoins des utilisateurs. Parmi ces détecteurs innovants, le détecteur In-BEAM répond à des besoins de haute résolution à basse tension en particulier. Ce détecteur intégré dans la colonne est associé à une lentille à la fois électrostatique et magnétique et permet d'atteindre une meilleure résolution tout en minimisant les aberrations dues à la basse tension. De plus, pour les applications en vide partiel, TESCAN a développé un détecteur d'électrons secondaires modifié (LVSTD) nécessaire pour appréhender la topographie de vos échantillons non-conducteurs. Des détails technologiques vous seront exposés au cours de la présentation.