Les évolutions de la colonne GEMINI.
Smaïl CHALAL (Carl Zeiss)
Carl ZEISS NTS, initiateur des concepts de colonne boostée,
de détection annulaire In Lens et de freinage électrostatique
du faisceau primaire élargit encore sa gamme FEG avec l'arrivée
du MERLIN, outil à forte composante analytique avec la dernière
technologie GEMINI 2.
Les différentes évolutions de la colonne GEMINI, élément
commun des instruments FEG Carl ZEISS NTS permettent d'offrir des caractéristiques
très complètes sur l'ensemble des besoins communs en imagerie
haute résolution et en analyse à de très forts
courants (plusieurs centaines de nA).
Les détections en secondaires vrais SE1 et SE2, en rétrodiffusés
BSE à haute énergie (Rutherford en composition / Mott
en orientation) et basse tension (EsB), en électrons transmis
(STEM) et très récemment en faible perte d'énergie
(LLE) disponibles au sein d'un même instrument représentent
une offre complète d'exploitation des signaux.
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