FIB FEG / Xbeam, présentation des colonnes et des détecteurs

Jean-Claude MENARD (Carl Zeiss)

La technologie des faisceaux ioniques focalisés ou (FIB) Focused Ion Beam cantonnée un temps au domaine du semi-conducteurs s'ouvre maintenant très largement au monde des matériaux et des sciences de la vie.
Carl ZEISS NTS propose désormais depuis plusieurs années des solutions versatiles aux différentes problématiques et besoins et récemment grâce au concept modulaire du nouvel instrument AURIGA équipé de la technologie GEMINI FEG de Carl ZEISS combinée à la meilleure offre de colonnes ioniques à source Gallium.
En dehors des préparations de lames pour l'imagerie en transmission, l'instrument FIB XB - SEM ouvre de nouvelles perspectives de prospection d'échantillons avec la combinaison de multiples techniques d'imagerie et d'analyse : EDS, EBSD, STEM, WDS, SIMS.
L'aspect 3D au travers de la collecte des informations chimiques et / ou cristallographiques est un aussi apport considérable au-delà des informations 2D déjà disponibles dans un Microscopie électronique à balayage.
Enfin, le FIB s'annonce comme un outil d'exploration et d'usinage sélectif pour la préparation d'échantillons :Pointes pour sonde atomique (TAP) et Nano-fabrication.

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