Utilisation d'un FIB-SEM pour la préparation très rapide d'échantillons pour l'observation ultra haute résolution ou pour l'imagerie 3D

Laurent Loos
l.loos@elexience.fr    http://www.elexience.fr

Le FIB-SEM HITACHI NB5000 est optimisé pour préparer très rapidement des échantillons pouvant être observés in situ en microscopie électronique à balayage (MEB) haute résolution ou en microscopie électronique en transmission (MET). Les caractéristiques optiques de la colonne FIB du NB5000 produit un faisceau d'ion très intense avec une très bonne résolution. Combiné aux automatismes, celui-ci permet de préparer rapidement des lamelles de moins de 100nm d'épaisseur qui vont être observé sur le TEM mais aussi d'ouvrir dans l'échantillon des zones très larges (plus de 50µm).

Toutes ces améliorations (faisceau intense, stabilité, résolution du SEM) font que le FIB-SEM devient un système très performant pour faire de l'imagerie 3D avec des résolutions pouvant être inférieures à 10nm.

Lors de cette présentation des exemples de reconstruction 3D sur des objets complexes ou des échantillons biologiques vous seront présentés.