FIB : Canon et Colonne ioniques

Frédéric CHARLOT,
Grenoble INP - CMTC, 38402 Saint Martin d'Hères

Bien que le développement d'instruments utilisant un faisceau d'ions focalisé (FIB) date de plusieurs décennies, cette technique est en plein essor ces dernières années et s'ouvre à des domaines très variés. L'apparition d'instruments alliant une colonne électronique (MEB) et une colonne ionique (FIB) est très certainement la raison de cet essor.

Il est donc important de mieux appréhender les différents éléments constituant les FIB, en particulier la source ionique permettant de générer le faisceau ionique et la colonne ionique permettant la focalisation de ce faisceau à la surface de l'échantillon.

Les différents éléments constituant la source ionique et la colonne ionique seront exposés. Seules les sources ioniques actuellement couramment utilisées, à savoir les sources métalliques sous forme liquide (LMIS), seront discutées. L'utilisation d'ions plutôt que des électrons, par la physique même de ces particules, conditionne les choix technologiques par rapport à une colonne électronique, en particulier l'utilisation de lentilles électrostatiques et non plus de lentilles électromagnétiques.

.