Préparation de lames TEM et autres applications liées au domaine semi-conducteur et aux systèmes microélectromécaniques

David TROADEC
Ingénieur de Recherche CNRS
IEMN - Avenue Poincaré - 59652 VILLENEUVE D'ASCQ - FRANCE

L'observation et l'analyse de matériaux par microscopie en transmission nécessitent une préparation préalable de l'échantillon afin d'obtenir une lame mince transparente aux électrons.

Différentes techniques existent, cet exposé développera la préparation par faisceau d'ions focalisés (FIB).

Après une présentation du microscope et de ses accessoires, les différentes étapes de la préparation seront détaillées avant d'exposer les avantages et inconvénients de cette technique.

Une dernière partie sera consacrée aux applications du FIB dans le domaine du semi-conducteur et des systèmes microélectromécaniques (MEMS).
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