FIB : Applications diverses 3D

Marco CANTONI
EPFL-CIME, Federal Institute of Technology, CH-1015 Lausanne, Switzerland

La nano-tomographie par FIB combine le micro- (ou nano-) usinage avec les différentes possibilités en imagerie électronique d'un MEB moderne. La performance du microscope à basse tension d'accélération est primordiale pour une reconstruction réussite du volume à examiner. Le volume d'interaction doit être impérativement inferieur à l'épaisseur des couches enlevées à chaque " coupe ". Le rendement des détecteurs a un impact sur la vitesse d'acquisition. Si différents détecteurs sont disponibles en parallèle l'enregistrement des informations complémentaires devient possible pour assurer une segmentation et reconstruction des structures complexe.

Quelques exemples illustrent le bon choix de paramètres, des astuces pour une reconstruction réussite vont être présentées. Les limites (raisonnables) de la technique en termes de résolution et volumes accessibles vont être illustrés et comparés avec des techniques voisines ou alternatives.

Reconstruction de deux types de précipités dans une soudure sans plomb. Pour identifier les deux phases il était nécessaire d'enregistrer deux images (électrons secondaires et électrons rétrodiffusés) en même temps.