Analyse de couches très minces par WDS - Corrélation aux analyses  Auger et SIMS

Frédéric CHRISTIEN
Polytech'Nantes - Université de Nantes
Institut des Matériaux Jean Rouxel

Nous présentons ici des mesures de couches de ségrégation interfaciale par WDS dans le système nickel-soufre. Les concentrations de soufre mesurées sont de quelques dizaines de ng/cm², ce qui représente des fractions de monocouches atomiques. Les analyses, réalisées sur des surfaces de ruptures, ont nécessité la mise au point d'un protocole expérimental prenant en compte l'angle d'inclinaison de la surface (tilt), évalué grâce à la mesure du courant absorbé.
Nous proposons une comparaison des mesures de ségrégation, obtenues sur les mêmes échantillons, par WDS, spectrométrie d'électrons Auger et SIMS (Secondary Ion Mass Spectroscopy).