La Cathodoluminescence dans le MEB:
principe, appareillage, imagerie et application de la CL à l'étude des micro et nanostructures de semiconducteurs à large bande interdite

Pierre-Marie COULON
CRHEA - CNRS, Valbonne Sophia-Antipolis

La cathodoluminescence (CL) est une des techniques spectroscopiques de microcaractérisation des matériaux pouvant équiper un microscope électronique à balayage. Après une brève présentation de notre laboratoire le CRHEA et de notre activité de recherche, nous introduirons le principe  de la CL. Nous présenterons par la suite l'appareillage couplé au MEB ainsi que l'imagerie de cathodoluminsecence et ses résolutions.

La cathodoluminescence installée au laboratoire servant plus pour la caractérisation de matériaux que pour des études de spectroscopie fine, nous montrerons différents résultats obtenus au laboratoire sur des micro et nanostructures de semiconducteurs à large bande interdite. Nous regarderons par exemple la qualité optique de microfils de GaN épitaxiés sur saphir, ou encore nous étudirons la varitaion de la contrainte pour un film de GaN coalescé à partir de nanofils. Enfin nous analyserons les différents défauts présents dans un film semi-polaire de GaN épitaxié sur un substrat saphir patterné.