Tomographie X dans le MEB

Pascal GOUNET
ST-Ericsson, Grenoble
www.stericsson.com

Cet exposé traitera de la mise en place d'un système XRay embarqué dans un MEB/FIB. Ce système permet de faire de l'imagerie 2D ainsi que de la tomographie d'échantillon.
Seront discutés la mise en oeuvre de ce système à l'intérieur du laboratoire ST-Ericsson à Grenoble, des cas d'analyses typiques et les préparations d'échantillons associés.
Des premiers résultats seront également à l'ordre du jour (cas de semi-conducteur)