EBSD en transmission dans un MEB

Fabrice O. M. GASLAIN - Centre des Matériaux - Mines ParisTech, Evry
Florence ROBAUT - CMTC - Grenoble INP, Saint Martin d'Hères

La caractérisation microstructurale d’échantillons par la technique EBSD est désormais utilisée en routine dans les laboratoires d’étude des matériaux. Elle permet d’obtenir automatiquement et rapidement des cartographies d’orientations avec une précision sur l’orientation de l’ordre de 0,5°. En revanche, la résolution spatiale est médiocre et se limite à environ 50 nm.
En complément de cette technique, de nombreux laboratoires utilisent la diffraction électronique dans un MET lorsqu’une meilleure résolution spatiale est nécessaire puisque celle-ci peut atteindre 2-3 nm.

Depuis 2010, plusieurs groupes de recherche ont regardé la possibilité d’associer le meilleur de ces deux techniques. Ils ont rapidement montré que l’EBSD en transmission (t-EBSD : transmission EBSD ou encore TKD : Transmission Kikuchi Diffraction) effectuée dans un MEB avec un système EBSD commercial récent permet d’obtenir facilement des cartographies dont la résolution spatiale est bonne (~10 nm) tout en maintenant une précision sur l’orientation de l’ordre de 0,5°.

Lors de cette présentation nous effectuerons un état de l’art de l’EBSD en transmission illustré par de nombreux exemples obtenus sur des lames minces et des nanomatériaux. Nous montrerons la mise en œuvre de cette technique, ses avantages et ses limitations.