Pourquoi vouloir absolument travailler à basse tension ? Intérêts et limitations
Jacky RUSTE
GN-MEBA
Le
développement dans les années 90 des nouveaux microscopes à balayage
haute résolution et plus récemment de microanalyseurs à sonde
électronique utilisant des canons de type Schottky permettent de travailler à de très
basses tensions.
Un des intérêts de pouvoir utiliser des basses tensions est de diminuer la résolution spatiale en observation et en analyse.
Mais qu’est-ce réellement que la résolution spatiale ? ou plutôt « les résolutions spatiales » ?
La basse
tension a aussi des conséquences au niveaux des émissions électroniques
et X, un rapide tour d’horizon servira d’introduction aux exposés
suivants.