Préparation des échantillons pour analyse à basse énergie.
Patrice LEHUEDE
C2RMF
Quand on
diminue l’énergie des électrons incidents pour faire des analyses à
basse énergie, du fait que les signaux X reçus par le détecteur
proviennent d’une profondeur beaucoup plus faible, des phénomènes qui
étaient négligeables dans les conditions plus classiques d’analyse
deviennent importants et doivent être pris en compte. En particulier :
- La propreté de l’échantillon,
- La contamination de l’échantillon durant l’analyse,
- L’oxydation superficielle des métaux,
- Les rayures de polissage,
- L’influence de la couche de métallisation dans le cas des échantillons isolants.
Nous indiquerons les précautions qu’il convient de prendre pour limiter
ces phénomènes et éventuellement comment en tenir compte quand on ne
peut pas les rendre négligeables.