Imagerie et analyses chimiques à haute résolution spatiale, à basse tension d'accélération des électrons, avec un FE-SEM de pointe 

Raynald GAUVIN
Université Mc Gill, Montréal

Cette présentation portera sur les résultats obtenus d'images et d'analyses chimiques à haute résolution spatiale avec un microscope à balayage à effet de champ de pointe, le Hitachi SU-8230 qui possède la nouvelle technologie auto-flash.
Des images de nanomatériaux avec des résolutions inférieures à 3 nm avec des énergies de 10 eV à 30 keV seront présentées. De plus, des images à haute résolution spatiale avec filtration en énergie seront présentées.
Ce microscope est équipé avec le détecteur FlatQuad de Bruker qui permet des acquisitions de 2 000 000 de coups/s.
Des analyses chimiques à haute résolution spatiale seront présentées.