Analyse des couches minces superficielles à basse tension.

Florence ROBAUT
CMTC, INPG Saint Martin d'Hères 38

Dans les années 1990, la commercialisation de logiciels dédiés à l’analyse X quantitative d’échantillons stratifiés, a étendu le champ des applications à la caractérisation de couches minces de surface.
 En effet, la microanalyse X à basse tension offre une très bonne sensibilité à la ségrégation de surface et permet la détermination simultanée de l’épaisseur et de la composition de couches superficielles.

A travers plusieurs exemples, les possibilités et les limites de la microanalyse X appliquée aux couches minces de surface seront présentées.