De la physique des émissions électroniques aux contrastes des images en MEB.

Jacques CAZAUX
Université de Reims, Reims

1°)  Introduction :
2°)  Emission Electronique Secondaire :
    • δ=f(E°) : Influence de E° et contraste de composition ;
    • Distribution angulaire, ∂δ=∂E_K, et contraste topographique (Influence des angles d’incidence et de détection) ;
    • Le travail de sortie et son role pour les échantillons (effets de surface) et les détecteurs.
3°)  Electrons Rétrodiffussés , η
    • Influence de la tension d'accélération, E°
    • Contraste en Z et inversion de contrate ; contraste cristallographique
4°)  Microscopie à Très Basse Energie (E°<5eV)
    • Principe ; Mise en oeuvre ; Applications.
5°)  Conclusion

Partant d’un rappel des principes bien connus des interactions dans le MEB, chaque étape sera néanmoins prolongée et illustrée par des images récentes concernant des échantillons technologiquement importants. Par exemple il s’agira des mono et multicouches de graphene (ayant une visibilité différente en fonction de E° et de la composition de la matrice) et dont l’observation peut être étendue à celle de films (oxydes, dépôts) sur différents substrats. En vue de l’optimisation des différents contrastes des stratégies originales seront suggérées.