Cathodoluminescence dans le MEB: Apport de la basse tension.

Brigitte SIEBER
UMET, Université de Lille Sciences et Technologies
Villeneuve d’Ascq 59

La cathodoluminescence (CL) est l’émission de lumière par un matériau soumis à une excitation électronique. C’est une technique spectroscopique qui, installée sur un microscope électronique à balayage,  permet de caractériser les propriétés optiques de matériaux semi-conducteurs et isolants.

Nous rappellerons tout d’abord les mécanismes à l’origine de la luminescence. Puis nous discuterons de l’augmentation de résolution liée à l’utilisation de la basse tension. Nous montrerons ensuite, par quelques exemples, que la dépendance du signal CL avec la tension d’accélération permet d’accéder à divers paramètres importants des hétérostructures semiconductrices. 
Nous terminerons cet exposé en donnant un ou plusieurs exemples de phosphores luminescents à basse tension qui pourraient être utilisés pour la production d’écrans à émission de champ.