Couplage de techniques électroniques.

Maxime BERTHE
IEMN ISEN Lille

Les récents projets de développement instrumental de l’IEMN, notamment à travers l’EQUIPEX EXCELSIOR, concernent la mesure de phénomènes rapides (jusqu’au Téra-Hertz) à la plus petite échelle (jusqu’à l’atome).

Pour localiser des structures aussi miniatures, la microscopie électronique à balayage est utilisée en combinaison avec les techniques de microscopie à sonde locale (AFM, STM) qui permettent d’avoir la précision atomique. Ces techniques reposant sur l’emploi de sondes locales ouvrent par la même occasion la voie aux mesures électriques, physiques, magnétiques, etc.

Cependant, la mesure de la dynamique des phénomènes électroniques dans une telle enceinte reste un défi à relever; les développements actuels sur cette thématique à l’IEMN seront exposés à travers trois exemples : l’instrument appelé Nanoprobe, regroupant un MEB et quatre STM qui permet de localiser, imager, manipuler et tester les structures les plus petites; l’AFM-MEB, permettant d’intervenir sur des structures diverses, même celles comportant des parties isolantes; le nanoprober HF, visant la mesure de composants haute fréquence de plus en plus petits.

Les derniers développements et expériences couvrant ce domaine seront exposés ainsi que les aménagements effectués récemment en termes d’infrastructure.