La résolution spatiale en mode environnemental : exemple des BSE.

L. Khouchaf¹ , A. Kadoun², C. Mathieu³
1-Univ-­‐Lille Nord de France, Ecole des Mines de Douai, 941, rue Charles Bourseul, BP.10838, 59508 Douai
2-Laboratoire de Microscopie, Microanalyse de la matière et Spectroscopie Moléculaire, Faculté des Sciences Exactes, Université Djilali Liabès, 22000 Sidi Bel Abbés, Algeria
3-Univ. Lille Nord de France Université d’Artois, Faculté Jean Perrin, SP 18, 62307 Lens cx

L’étude avancée des propriétés d’un matériau nécessite la connaissance de sa micro et/ou nanostructure. L’obtention de la microstructure pourra se faire en partie grâce à l’analyse des électrons rétrodiffusés. Ces derniers voient leur comportement modifié lorsque le faisceau des électrons incidents est diffusé par l’environnement gazeux dans la chambre d’un microscope électronique environnemental.

L’objectif de cet exposé est de montrer certains aspects du comportement des électrons rétrodiffusés en absence et présence d’un environnement gazeux ainsi que les conséquences sur la modification des contrastes conduisant ainsi à des interprétations erronées. Le besoin de développer des approches de modélisations est donc nécessaire pour prévenir certains artefacts.