Les technologies WDS en faisceaux parallèle et convergent.

Florence ROBAUT,
Université Grenoble Alpes, CNRS, SIMaP; CMTC, Grenoble INP

Depuis le spectromètre à dispersion de longueur d’onde mis au point par André Guinier et utilisé dès les années 1950 par Raimond Castaing pour développer la microsonde électronique, a été commercialisé dans les années 1970 le premier spectromètre conventionnel équipant les microscopes électroniques à balayage ; au milieu des années 1990 ont été mis au point les premiers spectromètres à faisceau parallèle.

Les spécificités des technologies en faisceaux convergent et parallèle seront présentées dans cet exposé, en particulier les moyens mis en œuvre pour optimiser la collecte des rayons X émis par l’échantillon analysé.