Comparaison WDS en MEB et microsonde.

• Fabrice GASLAIN, Centre des Matériaux, Mines Paristech, PSL Research University, Evry
• Denis BOIVIN, Onera, Chatillon
• Christine GENDARME, Institut Jean Lamour, Université de Lorraine, Nancy
• Guillaume WILLE, BRGM, Orléans
• Andrea CAMPOS, CP2M, Université Aix Marseille
• Lynh-Thy MINGAULT, Centre des Matériaux, Mines Paristech, PSL Research University, Evry

Pendant longtemps, pour faire une microanalyse, nous pouvions utiliser au choix soit un spectromètre de rayons X en énergie (EDS) installé sur un microscope électronique ou bien 4 ou 5 spectromètres de rayons X en longueurs d’ondes (WDS) équipant une microsonde de Castaing. L’EDS a l’avantage de fournir des résultats d’analyses très rapidement avec une résolution spectrale médiocre et une limite de détection relativement élevée, mais a l’avantage d’être accessible financièrement pour un laboratoire. La microsonde de Castaing fournit quant à elle des résultats d’analyses avec une très bonne résolution spectrale et une limite de détection 100 fois inférieure, mais nécessite plus de temps et un équipement spécifique 5 à 10 fois plus coûteux.

Depuis une dizaine d’années, des spectromètres WDS couplés à un détecteur EDS et pouvant être installés sur un MEB offrent une alternative à la microsonde de Castaing. Mais que doit-on attendre d’un tel dispositif ? Quels avantages et quelles nouvelles contraintes apportent un tel dispositif vis-à-vis de la microsonde de Castaing ? Cet exposé au travers de cas concrets tentera de répondre aux questions que se peuvent se poser de potentiels futurs utilisateurs.