Couplage EDS / WDS en MEB et applications.

Denis BOIVIN,
ONERA, 92320 Chatillon

La possibilité de coupler dans un microscope électronique les deux types de spectrométrie  EDS et  WDS pour la pratique de la microanalyse chimique, constitue un gain significatif pour la caractérisation des matériaux dans un MEB. Cet objectif est aujourd'hui réalisable dans un MEB qualifié d'analytique.

L'objectif de cette présentation est d'illustrer cet apport au travers de quelques exemples d'application concrets, avec quelques précisions préalables d'ordre technologique relatives aux spécificités de la pratique de la spectrométrie WDS en particulier, mais également à celles du MEB analytique.