Quantification en EDS et WDS: aspects pratiques.

Andrea  CAMPOS, Christian DOMINICI,
CP2M – Université Aix-Marseille

Par rapport à la technique du type EDS, le WDS fournit une meilleure résolution, ce qui nous permet de résoudre les chevauchements de pics d’énergie. Un autre majeur avantage est la diminution du bruit de fond, ce qui entraîne une haute sensibilité et une meilleure limite de détection.

Pour illustrer ces avantages, nous présenterons la détection de traces d’éléments via la quantification des spectres EDS avec des standards WDS d’éléments purs. Dans ce travail, nous avons utilisé un MEB équipé d’un détecteur EDS-SDD et d’un WDS avec un spectromètre à faisceau parallèle. Nous présenterons tous les aspects techniques de ce couplage MEB-EDS-WDS ainsi que les aspects pratiques du logiciel d’acquisition et traitement.