Intérêt des sources FEG en microsonde électronique.

Emmanuelle BRACKX,
CEA Marcoule

Depuis 2011, tous les constructeurs de microsonde électronique proposent une configuration comportant un canon à émission de champ (Field Emission Gun) et notamment  une source  Schottky pour l’analyse WDS. Ce nouvel outil offre des performances accrues en termes de résolution spatiale et analytique pour l’analyse à basse tension avec une haute résolution spectrale.

Ce type de microsonde est particulièrement intéressant pour les caractérisations de matériaux hétérogènes ou stratifiés, telles que la présence de particules ou des phases de dimensions micrométriques. Ces fonctionnalités donnent un regain d’intérêt de l’usage de la microsonde électronique pour la quantification des matériaux comportant des éléments légers ou des éléments possédant des interférences spectrales.

Des exemples analytiques seront présentés pour illustrer ces capacités aussi bien en cartographie X qu’en analyse ponctuelle. Il sera également discuté de mesures comparatives réalisées sur des échantillons polyphasés avec une microsonde à canon thermoélectronique et une microsonde à canon FEG..