Acquérir une image dans le MEB, optimiser l'acquisition.

Guillaume WILLE
BRGM, Orléans

Pour obtenir une image dans le MEB, la surface de l'échantillon est balayée par un faisceau d'électrons focalisé, et des détecteurs enregistrent différents signaux issus des interactions électrons-matière.

Que sont ces détecteurs et comment fonctionnent-ils ?

Outre les caractéristiques du faisceau d'électrons et le type de détecteur, des paramètres tels que l'accumulation ou le moyennage du signal peuvent influer sur la qualité de l'image acquise. De quelle manière ? Sont-ils applicables dans tous les cas ?