Reconstruction quantitative 3D de surface à partir d’images BSE multidétecteurs.

Jan NEGGERS,
LMT - ENS Paris-Saclay 

Les images au microscope électronique ont un ombrage qui est naturellement interprété comme des formes 3D par notre cerveau humain. Par conséquent, il n'est pas surprenant que, déjà au début de l'histoire du MEB, des méthodes ont été proposées pour reconstruire la topographie de surface en 3D en utilisant des méthodes de «shape-from-shading».

Cette présentation détaillera une généralisation des méthodes originales développées pour les systèmes de détection des BSE à 4 quadrants. L'avantage clé est que dans cette nouvelle forme seulement 3 détecteurs sont nécessaires et qu'ils peuvent être orientés plus librement dans la chambre du MEB. Ce nouvel algorithme reconstruira la forme de la surface tout en étalonnant les orientations du détecteur.