Mode STEM en SEM : études 2D/3D de liquides.

Karine MASENELI-VARLOT, Annie MALCHÈRE, Lucian ROIBAN 
Univ Lyon, INSA-Lyon, UCBL, MATEIS, CNRS UMR 5510, F-69621 Villeurbanne cedex, France

Lors d’études en microscopie environnementale (ESEM), il est en pratique presque impossible d’observer ce qui se trouve à l’intérieur d’une goutte de liquide à l’aide des détecteurs SE. En revanche, le mode STEM-en-SEM permet d’obtenir un très bon contraste, même sur des liquides « épais ».

Nous commencerons dans cette présentation par expliquer le montage utilisé pour l’analyse de liquides et présenterons des exemples d’analyse (nanoparticules d’or, suivi de la prise de matériaux cimentaires, organisation de particules de latex en 3D).

L’influence de différents paramètres expérimentaux sera discutée. Le contraste et la résolution spatiale obtenus seront analysés à l’aide de simulations Monte Carlo.

Une comparaison sera effectuée avec des images obtenues en microscopie électronique en transmission sur des suspensions encapsulées.