La métallisation : but, mises en œuvres et limitations.

Fabrice GASLAIN
Mines ParisTech, Evry / CNRS

L'observation d'échantillons non-conducteurs dans un microscope électronique à balayage est rendue difficile par l'accumulation de charges à la surface de l'échantillon. Ces charges génèrent de nombreux défauts ou artéfacts à la fois en imagerie mais également en microanalyse. Pour remédier à ces effets de charges, il est parfois possible de travailler à très basse tension ou dans un MEB équipé d’une chambre à pression contrôlée.

Cependant, ces solutions ne sont pas toujours compatibles avec les observations à réaliser et il est alors nécessaire de "métalliser" (ou rendre conducteur) la surface des échantillons à observer ou à analyser.

Nous allons donc présenter les différentes solutions qui existent pour rendre conductrice une surface isolante. Ceci inclura, en particulier, des données sur la nature et les techniques de dépôt lors de leurs mises en œuvre et les limitations.