Le marquage de surface au service de la corrélation d’image.

Alexandre TANGUY
Plateforme MiMeCA, Laboratoire Mécanique des Solides.
Ecole Polytechnique, 91128 PALAISEAU Cedex

La réalisation d’essai mécanique in situ MEB, apparu dans les années 80, s’est fortement répandue ces dernières années dans les laboratoires de recherche en mécanique, grâce à la mise à disposition par les constructeurs, de solutions commerciales de machines de traction in-situ.
Cependant, pour obtenir des cartographies de déformations, il est nécessaire d’avoir recours à la corrélation d’image numérique qui elle-même ne fonctionne que si l’échantillon présente une variation de contraste local à sa surface. C’est dans cette optique que le marquage de surface prend tout son intérêt.

Les techniques de marquages regroupent en fait un grand nombre de méthodes différentes :

Chaque méthode présente, bien entendu, des avantages et des inconvénients qui en définissent leurs limites.
Dans cet exposé, je me focaliserai sur deux méthodes que nous utilisons au Laboratoire Mécanique des Solides : la lithographie électronique par faisceau d’électrons et le démouillage de film mince métallique.

Mon exposé s’articulera autour de la mise en œuvre et des limites des deux techniques citées ci-dessus, de l’intérêt de combiner les deux procédés pour une stratégie multi-échelle d’analyses, enfin je vous présenterai quelques résultats de corrélation d’image associée.

Mots clefs : micromécanique in-situ MEB, lithographie électronique, démouillage de film mince. Corrélation d’image numérique, cartographie de déformation.