Préparation ionique pour observations MEB & analyses EBSD

GATAN - AMETEK

Vincent RICHARD (vincent.richard@ametek.com)

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, Jeudi 3/12/2020 - 15h00

Les techniques de préparations traditionnelles de polissage (mécanique, chimique, électrolytique…) peuvent générer des artéfacts sur les matériaux réputés difficiles : nanocristallins, multi-phasés, composites, poreux, polymères …
Le polissage ionique par faisceaux d’ions d’argon permet d’obtenir une surface sans défauts et directement exploitable pour l’imagerie en microscopie électronique à balayage. Cette technique englobe deux types de préparations :
-    Le polissage plan essentiellement utilisé en finition pour supprimer la zone endommagée ou écrouie lors d’un polissage mécanique. C’est une technique de choix pour les analyses EBSD sur les matériaux métalliques ou céramiques.
-    La découpe ionique permettant de révéler la microstructure en coupe transverse sur tous types de matériaux et notamment composites, polymères, semi-conducteurs, …

GATAN a développé toute une gamme de système de préparation ionique pour la microscopie. Les PECS & Ilion 2, tous deux équipés pour le polissage plan et la découpe ioniques, sont dédiés à la microscopie à Balayage.


gatan fig1
Gatan fig 3 - PECS II
gatan fig 4

gatan fig 2
gatan fig 5
Coupes transverses polymère et semi-conducteurs
Acier martensitique (IPF & IQ maps)

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