Principe de l'émission X et de la spectrométrie EDS. Traitement des spectres et analyse quantitative en EDS 

Sébastien PAIRIS
CNRS, Institut Néel Grenoble

L’objectif de la présentation est de rappeler les aspects fondamentaux de la microanalyse EDS, de l’émission des rayons x jusqu’au résultat de l’analyse quantitative. 

Après un rappel de l’émission X et de la détection de ce rayonnement, le fil conducteur suivra le logigramme de traitement des spectres en vue de la quantification :

• choix des conditions d’analyses,
• vérification du spectre,
• soustraction du fond continu,
• déconvolution des raies d’analyses,
• quantification et méthodes de correction de matrice ZAF ou (z).