STEM-EDS sur échantillon mince et Microanalyse du Li.
Raynald GAUVIN
Université McGill, Canada
Cette
présentation introduira les principes d'analyses quantitatives par
microanalyse rayons-x pour les films minces et suivra par des exemples
d'application en microscopie STEM à 30 keV avec le SU-9000 de Hitachi.
Les analyses EELS sont aussi possible et des résultats seront présentés ainsi que l'imagerie à haute résolution spatiale.
Ce microscope est équipé d'un détecteur de Lithium EDS (Extreme, Oxford
Instrument) et la microanalyse de composés de Lithium sera présentée.
La préparation de films minces par FIB pour des images à haute résolution spatiale sera aussi présentée.