Résolution latérale en microanalyse EDS/WDS.

Mikaël PERRUT, Denis BOIVIN, Raphaël ARQUIER
DMAS, ONERA, Université Paris-Saclay, F-92322 Châtillon, France

La résolution en microanalyse, EDS ou WDS, dans des échantillons hétérogènes est limitée par le microvolume de la poire d'interaction entre le faisceau électronique incident et l'échantillon. La possibilité pratique de mesurer quantitativement la composition de couches minces d'interfaces parallèles à la surface de l'échantillon d'épaisseurs largement inférieures à la dimension de ce microvolume a été démontrée dans les années 90 par Pouchou et al. [1-3], dont les techniques de détermination des épaisseurs et de la composition des couches minces sont toujours utilisées aujourd'hui. Ce sont les modèles de type ϕ(ρz), développés initialement pour le calcul quantitatif des effets de matrice associés aux mesures, qui ont rendu possibles ces techniques de détermination.

Nous souhaitons présenter ici des travaux préliminaires permettant de telles mesures quantitatives dans le cas d'interfaces perpendiculaires à la surface, ce qui pourrait permettre, à terme, la mesure de compositions de phases nanométriques quelconques, bien plus aisément que par rapport aux techniques existantes (TEM, 3DAP), via un modèle de type ϕ(ρx, ρy, ρz) généralisant les approches antérieures aux trois dimensions de l’espace.



[1] J.L Pouchou, F. Pichoir, Quantitative Analysis of Homogeneous or Stratified Microvolumes Applying the Model “PAP”, Electron Probe Quantitation, Edited by K.F.J. Heinrich and D. E. Newbury, Plenum Press, New York, 1991.
[2] J.L. Pouchou, X-Ray microanalysis of stratified specimens, Analytica Chimica Acta, 283 (1993) 81-97.
[3] J.L. Pouchou, X-Ray Microanalysis of Thin Films and Coatings, Mikrochim. Acta, 138 (2002) 133-152.