L'analyse EDS en mode VP

Tayeb AMRIOU – Christian MATHIEU  
UCCS Artois -  Faculté Jean Perrin – Rue Jean Souvraz – 62307 Lens cedex

Les microscopes à balayage sous environnement gazeux présentent la particularité de disposer de deux modes de fonctionnement qui permettent grâce à des détecteurs d’électrons spécifiques d’observer des échantillons dans les conditions de haut vide (10-3 Pa) ou dans des conditions de bas vide ou la pression peut varier entre 1 et quelques centaines de Pa. Ce dernier mode est utilisé pour l’observation d’échantillon isolant et/ou sensible au dégazage.

Après un rappel sur les interactions électrons -gaz qui se produisent dans ces conditions de pression variable, les effets sur la microanalyse X seront montrées à partir de spectres, ligne de profils et cartographie.

Des solutions pour limiter ces effets perturbateurs pour la pratique de la microanalyse X seront présentées.