Décélération de faisceau en MEB.

Sylvie DESCARTES¹, Xavier JAURAND², Pierre ALCOUFFE³, Annie MALCHERE⁴, France SIMONET⁵

[1] Univ Lyon, INSA-Lyon, CNRS, LaMCoS UMR 5259, F-69621 Villeurbanne cedex
[2] Univ Lyon, Centre Technologique des Microstructures - CTμ, UCBL, F-69622 Villeurbanne cedex
[3] Univ Lyon, UCBL, INSA Lyon, UJM, CNRS, IMP UMR 5223, F-69622 VILLEURBANNE cedex
[4] Univ Lyon, INSA-Lyon, UCBL, CNRS, MATEIS UMR 5510, F-69621 Villeurbanne cedex
[5] Univ Lyon, CNRS, Université de Lyon 1, IRCELYON UMR5256, F-69626 Villeurbanne cedex

Quelques principes de base pour la décélération de faisceau seront expliqués. La décélération de faisceau consiste à conserver le faisceau d’électrons à une haute énergie dans la colonne et il est décéléré pour arriver sur la surface de l’échantillon à faible énergie. La décélération peut se faire au niveau de l’échantillon ou en bas de la colonne. Ainsi on peut distinguer 3 types de lentilles :

• Lentilles classiques avec possibilité de décélération par polarisation de l’échantillon
• Lentilles à immersion (l’échantillon est dans le champ magnétique de la lentille), avec possibilité de décélération par polarisation de l’échantillon.
• Lentilles « hybrides » (magnétique et électrostatique), avec décélération en bas de colonne et aussi éventuellement par polarisation de l’échantillon.

La décélération de faisceau permet d’augmenter la résolution de l’image aux faibles tensions d’accélération en réduisant la taille finale du spot du faisceau d’électrons. Cet exposé discutera des avantages ou inconvénients de la décélération.