Stratifies

Frederic WYCZISK - Thales Research & Technology, Palaiseau
12-09-2011 08:54

Bonjour,
Je voudrais déterminer la composition d'une couche mince (200 nm) de TiO2 (Evap + IAD) sur or, quelles techniques utiliser ? EDS, WDS, XPS, RBS, Stratagem ?
J'ai essayé par Auger mais les problèmes de charge et autre artefact (réduction sous faisceau, pulvérisation préférentielle) font que je n'est pas confiance dans les résultats.
Quelle est la précision sur le rapport O / Ti que l'on peut espérer obtenir ?

Frederic Christien - LGMPA - Polytech'Nantes
3-10-2006 14:20:22

Bonjour à tous.
J'utilise le logiciel Stratagem de la suite SAMx (logiciels Microsonde) pour la mesure de ségrégations superficielles. Pour des échantillons inclinés (tilt), faut-il mesurer aussi le Istd en position inclinée ? (Istd = hauteur de pic mesurée sur le matériau standard)
En d'autres termes, lorsqu'on travaille avec un angle de tilt de 50° par exemple, le Istd apparaissant dans le rapport I/Istd calculé par Stratagem est-il le Istd mesuré en incidence normale ou avec un angle d'inclinaison de 50° ?
Merci de votre aide.

Par défaut Stratagem suppose que les témoins sont purs et acquis dans les mêmes conditions opératoires que l’échantillon. C’est en effet dans ces conditions que les biais éventuels de modèles sont a priori minimisés. Néanmoins, il est possible d’utiliser un témoin quelconque acquis dans d’autres conditions que l’échantillon. Mais il faut alors :
1 - qu’il soit défini et enregistré comme un standard, avec ses conditions opératoires effectives
2 - que lors du traitement de l’échantillon (dans la page Données Expérimentales), il soit déclaré par son nom dans la rubrique « Standard »
(Jean-Louis POUCHOU, ONERA, Châtillon)

ASMAA
24-04-2006 11:09:39
bonjour tout le monde, je cherche la procedure de la mesure de l'épaisseur des couches minces optique

Pour une mesure optique de l'epaisseur de couches minces, regardez du côté de l'ellipsométrie. On peut mesurer la composition et l'epaisseur d'une couche par microanalyse X en utilisant les programmes de couches minces qui utilisent la fonction de repartition de l'emission X (PhiRhoZ). (F. Grillon - ENSMP)